在包括臨界蝕刻、沉積、腔室清洗(xǐ)、檢測(cè)、注入和退火在內的半導體(tǐ)製造領(lǐng)域,Advanced Energy 的等離子功率傳輸、溫度測量、溫度控製(zhì)和晶圓控製技術均處於市場領先地位。我們通過戰略合作、持續創新和快速設計,為您的特定工藝要求提供解決方案。
Advanced Energy 的等離子(zǐ)電源輸送係統、交流/直流(liú)和直流/直流前端電源以及機架係統產品組合能夠以可控、高效的方式提供去除光刻膠(jiāo)所需的精(jīng)確功率。
隨著芯片設計日趨複雜,對精確控製離子注入的(de)要求也越來越(yuè)高。Advanced Energy功率產品的設計(jì)專注(zhù)於優化效率和功(gōng)率密度,確保精(jīng)確控(kòng)製離子能量。
Advanced Energy 為電子束檢測係(xì)統提供穩定可靠的電源。通過嚴密控製實現高精度的缺陷識別(bié),確保存儲器和邏輯器(qì)件符合嚴(yán)苛的規格要(yào)求。
Advanced Energy 的高精度等離子體功率傳輸係統可對(duì)蝕刻應用(yòng)進行精確控(kòng)製,從而實現高重複(fù)性和高產量。
AE 為半導體沉積提供全麵的產品組合,包括等離子電源輸送、溫度測量、溫度控(kòng)製和(hé)晶圓控製解(jiě)決方案。