Advanced Energy 的等離子電源輸送係統、交流/直流和直流/直流前端電源以及機架係統產品組合能(néng)夠以可控、高效的方式提供去除光刻膠所需的精確功率。
在等離子蝕刻過程中,精確(què)控(kòng)製功率對於確保完美剝離晶圓表麵、杜絕任何潛在缺陷至關(guān)重要。
在半導體製造中,剝(bāo)離(lí)步驟的作用是去除(chú)殘留的光刻(kè)膠(jiāo)。在等離子蝕刻過程中,精確控製功率對於確保完美剝離晶圓表麵、杜絕任何潛在缺陷至關重要。
通(tōng)過精確(què)控製功率實現完(wán)美(měi)晶圓剝離。
去除殘留的光刻膠(jiāo),對於(yú)確保高質量產品至(zhì)關重要。Advanced Energy 的等離子電源輸送係(xì)統、交流/直流和直(zhí)流(liú)/直(zhí)流前端電源以及機架係統產品組合能夠以可控、高效的方式提供去除(chú)光刻膠所需的精確功(gōng)率。
我們的產品(pǐn)設(shè)計始(shǐ)終致(zhì)力於優(yōu)化效(xiào)率和功率密度,在降(jiàng)低總(zǒng)擁有成本(běn)的同(tóng)時確保可(kě)靠(kào)性和長時間正常運行。
AE 的各種行(háng)業標準板(bǎn)載電源模塊得(dé)到原始設備製造商和係統(tǒng)集成商的廣泛應用,可提供半導體製造(zào)商所需的靈活性和可擴展性,滿足(zú)剝離工藝的要求。
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