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功率輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和直流電（diàn）源係統 射（shè）頻等離子（zǐ）體發生器 遠程等（děng）離子體源

可控矽功率控製係列

靜電電壓表 ESD儀器 氣體傳感器（qì） 應變傳感器 熱傳感器（qì）

數字溫度計（jì） 本安（ān）溫度計 濕度（dù）測量儀 射頻和微波 LCR儀表 歐姆表 接地和粘合 信號源和放大（dà）器 比率標準