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Advanced Energy 的高精度等離子體功率傳輸係統(tǒng)可對蝕刻應用進(jìn)行精確控製,從而實現高重複性和高產量。

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Advanced Energy 的高精度等離子體功率傳(chuán)輸(shū)係統(tǒng)可對蝕刻應用進行(háng)精確控製,從而實現高重複性和高產量。

憑(píng)借先(xiān)進的高精度等離子(zǐ)動力傳輸係統,Advanced Energy 站在(zài)蝕刻應用(yòng)技術的最前沿。我們的解決方案利用尖端創新技術,為蝕刻工藝全(quán)程(chéng)提供精確的功率傳輸和控製。

AE 的等(děng)離子電源可根據(jù)每個蝕刻(kè)應用的獨特(tè)需求(qiú)進行(háng)定製。

我們的產品組合包括射頻、直流和脈衝直流產品;阻抗匹配網絡;遠程等離(lí)子源以及先進(jìn)的數據收集、可視化和分(fèn)析平台。這些解決方案采用尖端技術,能夠確保精確可重複的功率傳輸,從而(ér)實現卓越的製程精度和產量。

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