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5KV以上高壓放（fàng）大器 5KV以下（xià）高壓放大器

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功（gōng）率輸出係統 射（shè）頻匹配網絡 脈衝和直流電源係統 射頻等離子體（tǐ）發生（shēng）器 遠程（chéng）等離子體源

可控矽功率控製係列

靜（jìng）電電壓表 ESD儀器 氣體傳（chuán）感器 應變傳感器 熱傳感器

數（shù）字溫度計 本安溫度計 濕度測量儀（yí） 射頻和微（wēi）波 LCR儀表 歐姆表 接地和粘（zhān）合 信號源和放大器 比率標準