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脈衝和直流電源係統

脈衝和(hé)直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈(mò)衝直流套件推進等離子(zǐ)工藝創新,在提高沉積率、改善(shàn)薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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