利用(yòng) Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等(děng)離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。
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Ascent® DMS係列為雙磁控管濺射提供了前所未有的功率傳輸方便和控製,能夠精確(què)調整薄(báo)膜特性(xìng)。Ascent DMS配件具有可選擇的(de)頻率、調節模式和占空比,以及(jí)低存儲能量和簡(jiǎn)化的模塊化係統配置,使其成為真正的下一代技(jì)術。它(tā)具有成本效益、可擴展性和通用性,可最大限度(dù)地降低(dī)複雜性、提高質量並提高吞吐量,從而實現先進的流程創新。Ascent DMS MF-120封裝為標準陰極提供(gòng)經濟高效的中頻電源(yuán),同(tóng)時提供雙極脈衝技術優(yōu)勢。