利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流(liú)和脈衝直流套件推(tuī)進(jìn)等離子工藝創新,在提高沉積(jī)率、改善薄膜平整度和堆積密度的(de)同時(shí)最大(dà)限度減少電弧。
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