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5KV以（yǐ）上高壓放大器（qì） 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹配（pèi）網絡 脈（mò）衝和直流電源（yuán）係統 射頻等離子體發生器 遠程等離子（zǐ）體源

可控矽功率控製係（xì）列

靜電電壓（yā）表 ESD儀器 氣體傳感器 應變傳感器 熱傳感器

數字溫度計 本安溫度計（jì） 濕度測（cè）量儀 射頻和微波 LCR儀（yí）表 歐姆表 接地和（hé）粘合 信號源和放大器 比率標準（zhǔn）