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射頻等離子體(tǐ)發生器

射頻等離子(zǐ)體發生器

從(cóng)各(gè)種安裝方式和(hé)尺寸到全數字控製和動態(tài)等離子響應,我們的射頻(pín)發生器是(shì)工藝創新(xīn)的源動力。您可以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和控製功能(néng)來滿足特(tè)定的應用要求。

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用於核心(xīn)等離子體應用的行業領先(xiān)、可重複的功率輸(shū)送

Paramount射頻發生(shēng)器

以新的運營靈活性為重點,推進流程開發。派拉蒙®高頻射頻發生器提供寬功率範圍,支持多種集成場景,並配備標準串行/模擬接口和其他可選通信接口。派拉蒙(méng)HF能夠實現高縱橫比器件所需的高等離子體密度和離子能量(liàng),並加(jiā)快半(bàn)導體加工工(gōng)具下一節點的加工速度。派拉蒙(méng)平台的數字架(jià)構提供了(le)精確的電源管理,並簡化(huà)了新(xīn)功能集成,無需交付周期或硬件更改。通過(guò)對(duì)等離子體變化的實時檢測實現了高功率輸出和可重複(fù)的性能。內部保護(hù)限(xiàn)值(zhí)便於(yú)可靠操作。

特點

全數字控製
頻率調諧、脈(mò)衝和脈衝同(tóng)步
實時(shí)功(gōng)率和阻(zǔ)抗測量
電弧管理
相位同步(CEX)
提高等離子(zǐ)體穩定性和工藝重複性
精確(què)控製射頻功(gōng)率
快(kuài)速響應等離子體變化
輕鬆適應以滿足特定的(de)應(yīng)用程序需求

規(guī)格

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