從(cóng)各種安裝方式和尺寸到全數字控(kòng)製(zhì)和動態等離子響應,我們的射頻發生器是工(gōng)藝創新的源動力。您可(kě)以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和控製(zhì)功能來滿足特(tè)定的應用要求。
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隨著(zhe)半導(dǎo)體行業加速邁(mài)向新的轉折點,eVerest™射(shè)頻發生器滿足了轉換等(děng)離(lí)子體控製的需求。其可配置的多(duō)級脈衝(chōng)可實現瞬時或(huò)用戶定義的轉換定(dìng)時。此外,具有寬頻率掃描範圍的高速、高精度基(jī)於模型的頻率調諧提供了更大的過程穩定性和控製。這些功能,加上更快的設置點響(xiǎng)應、脈衝(chōng)狀態開始時(shí)的受控超調,以及Advanced Energy™物聯網智能的複雜PowerInsight,為下一個技(jì)術節點的流程創新提供了力(lì)量。
全射頻傳輸係統,多(duō)種匹配解決方案選項,智能同步
可編程多級脈衝輪(lún)廓內的速度和(hé)控製
高速射(shè)頻輸出響應和脈衝狀態上升/下降(jiàng)時間
高達±10%的(de)頻率調諧範圍
以dP/dZ穩定性設計
PowerInsight by Advanced Energy™物聯(lián)網生態係統(tǒng)
實現<2 nm沉積和蝕刻輪廓的新工藝開發
提供可(kě)靠的點火,RF穩定性與電纜長度無關
無縫集成到(dào)任何等離(lí)子體係統中
增加處理空間並拓寬穩定性窗(chuāng)口