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利(lì)用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直(zhí)流套件推進等離子工藝(yì)創新,在提高沉積率(lǜ)、改善薄膜平整度和堆積密度的(de)同時最大限度減少電弧。
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PEII電源提供40 kHz脈衝寬度調製(zhì)(PWM)。它具有先進的電弧(hú)控製(zhì)和內部負載匹配功能,當單元(yuán)組(zǔ)合在一起時,輸出功率高達60千瓦,不需要變壓(yā)器或調諧(xié)器等外部硬件。電源還提供(gòng)兩個不同的電弧處理電路,浮動輸出(chū)可(kě)以在任(rèn)意一側接地。
PEII Series Data Sheet
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