Trek 646係列_北京91视频网科技有限公司

靜電（diàn）吸盤

Advanced Energy 的 Trek 電子吸盤電源一直是半導體行業（yè）不可（kě）或缺的設備（bèi）。Trek 電源可以幫助您提高產量（liàng），增加正常運行時間，從根本上消除晶圓粘著和晶圓爆裂等（děng）問題，並減少背麵氣體錯誤。

靜電吸盤

軟件驅動靜電卡盤電源，輸（shū）出（chū）電壓範圍為0至±3 kV

Trek 646係列

Trek®646軟件驅動靜電吸盤電源提供了一（yī）係列功（gōng）能，可適（shì）應各種苛刻的應用。該儀器（qì）采用了先進的能（néng）源技術，其效率和吞吐量（liàng）提高了，相當於其他供應（yīng）的三（sān）倍。Trek 646的多功能可靠性能允許在多個獨特的工具和工藝中使用，無需為設施中的每個獨特工具或工藝指定新（xīn）的供應。

特點規格技術文檔

特點

可鎖定的前麵板控製接口

隨每個（gè）裝（zhuāng）置提供的NIST可追溯校準證書

支持Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技術

將靜電吸盤配置文件上傳並存儲到裝置中，並通過用戶友（yǒu）好（hǎo）的（de）軟件界麵在內部存儲

晶圓檢測包括無（wú）晶圓、晶（jīng）圓（yuán）存在或晶圓夾緊（jǐn）狀態

減（jiǎn）少背麵氣體錯誤，提高（gāo）吞吐量，並消除晶圓粘性/爆裂問題

控製參數（shù），如過電流、晶片存在和晶片箝位閾值、箝（qián）位電壓、偏移（yí）電壓和內部或外（wài）部（bù）振幅/偏移（yí）控（kòng）製

調整過程振（zhèn）幅（fú）/偏移和輸出控製的多功能性

使用後麵板（bǎn）I/O、串（chuàn）行計算機命令或前麵板控件控製輸出

配（pèi）置自定義夾緊和拆卸序列以及波形

規格

技術文檔

Trek 646 Data Sheet