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靜電（diàn）吸盤

Advanced Energy 的 Trek 電子吸盤電源（yuán）一直是半導體行業不可或缺的設備。Trek 電源可以幫助（zhù）您提（tí）高產量，增加（jiā）正常運行時間，從（cóng）根本上消（xiāo）除晶（jīng）圓粘著和晶圓（yuán）爆裂等問題，並減少背麵氣體錯誤。

靜電吸盤（pán）

軟件驅動靜電卡盤電源，輸出電壓範（fàn）圍為0至±2 kV

Trek 645係列

Trek®645軟件驅（qū）動靜電吸盤電源具有記錄在案的曆史，其（qí）效率和吞吐量是其他電源的三倍。Trek 645的多功能可靠性能允許在多個獨特的工具和（hé）工藝（yì）中使用，無（wú）需為設施中的每個獨特工具或工藝指定新的供應（yīng）。

特點（diǎn）規格技術文檔

特點（diǎn）

可鎖定的前麵板控製接（jiē）口

隨每個（gè）裝置提供的NIST可追溯校準證書

支持Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技術

將靜電吸盤配置文件上傳並（bìng）存儲到裝置中，並通過用（yòng）戶友好的軟件界麵在內部存儲

晶圓檢測（cè）包括無晶（jīng）圓（yuán）、晶圓存（cún）在或晶圓夾緊狀態

減少背麵氣（qì）體錯誤，提高吞吐（tǔ）量，並消除晶圓粘性/爆裂（liè）問題

控製參數，如過電流、晶片存在和晶（jīng）片箝位閾值、箝（qián）位（wèi）電壓（yā）、偏移電壓和內（nèi）部或外部振幅/偏移控製

調（diào）整過程（chéng）振幅/偏移和（hé）輸出控製的多功能性

使用後麵板I/O、串行計算機命令或前麵板控件控製輸出

配置自定義夾（jiá）緊和（hé）拆卸序列以及波（bō）形

規格

技術文檔

Trek 645 Data Sheet