Paramount HFi 射頻輸送係統_北京融（róng）源（yuán）科技有限公司

功率輸出係統

Advanced Energy 經過現場驗證的 Precision Power™ 解決（jué）方案可在各種等（děng）離子電（diàn）源應用中提供同類產品最佳的控製和穩定性。我們全麵的功率輸出技術 40 多年來不（bú）斷引領工藝創新，並將與我們（men）的合作（zuò）夥伴一起繼續推動技術向前發展。

功（gōng）率（lǜ）輸出係統

緊湊型、經濟高效的集成發生器和固態匹配射頻功（gōng）率輸送（sòng）係統

Paramount HFi 射頻輸送係統（tǒng）

Paramount® HFi 是一種集成射頻傳輸（shū）解決方（fāng）案，適用於沉積和其他（tā）基於半導體等離子體的工藝。一個電可切換（huàn）固態電容器陣列（liè）與射頻功率（lǜ）放大器物理集成，提供最緊湊的形狀因數功率傳輸係統。由於整體封裝尺寸幾（jǐ）乎等於傳統射頻功（gōng）率發生器，這種設計還包括（kuò）公共（gòng）外殼內的（de）匹配網絡。匹配網絡具（jù）有32個調諧範圍位置，允許在廣泛的阻抗範圍內可靠的射頻（pín）功率傳輸（shū）。除了（le）減（jiǎn）少占用空間之外，機（jī）械驅動的真空電容器在集成（chéng）匹配網絡中被固態組件取代，以提高可靠性和可重（chóng）複性——這是高周期、重（chóng）複性過程（chéng）中的關鍵（jiàn）屬性。通過省略傳統的獨立真空電容器匹配網絡，實現了非常快速的調諧和直接的（de）功率（lǜ）調節，減少了當今短周期（qī）、高步數沉積過（guò）程（chéng）中的延（yán）遲。

特點規格技術文檔（dàng）

特點

32個（gè）具有毫秒切換速度的調諧範圍位置，以實現最短的工藝（yì）步驟（zhòu）
可控的調諧範圍位（wèi）置優化客戶（hù）過程的阻抗範圍
水冷，無需外部空氣交換
通用激勵（lì）器（CEX）模式，用於（yú）在集群配置中同（tóng）步多個係統
RS-232、以太網和（hé）EtherCAT通信（xìn）
利用更快（kuài）的調諧速度（dù），即使在最短的工（gōng）藝步驟中也能實現穩定（dìng）的性能
與單（dān）獨的發電機和匹配（pèi）網絡相比，集成封裝配置可降低成本
利用減少占地麵積的多晶圓室沉積係統釋放寶貴的空（kōng）間

規格

技術（shù）文檔

Paramount HFi RF Power