logo
遠(yuǎn)程等離子體源

遠程等離子體源(yuán)

Advanced Energy 的遠程等離子體源功能強大、可靠性高,可增強您的製造和清(qīng)除工藝。助您定製化學特征,擴展工作範圍,提高工藝(yì)處理(lǐ)速度。我們先進的方案采用流線型設(shè)計,讓(ràng)您能夠實現更高水平的效率和生產率。

首頁 > 產品中心 > 等離子電(diàn)源產品 > 遠程等離子體源(yuán)

遠程等離子(zǐ)體源(yuán)

返回
41
42
43
41
42
43
41
42
43
41
42
43

Litmas

Litmas RPS可有效輸送高濃度的反應性氣體,有效減少對環境有害的PFC氣體。將先進的電源和電源技術相(xiàng)結合,使用AE獲得專利(lì)的LitmasMatch™固態電源(yuán)傳(chuán)輸拓撲結構提供了(le)一個寬的(de)操作窗口,以最大(dà)限度地提高工藝開發的靈活性。所選擇的腔室(shì)材料(SiO2或Al2O3)提供低複合以(yǐ)提供高破(pò)壞率效(xiào)率(DRE)和高等離子體密度。這使得能夠與廣泛(fàn)的工藝化學物質兼容。優化(huà)的(de)設計能夠降低公用設施的使用率,延長使用(yòng)壽命,從而降低(dī)總體擁有成本。

特點

Litmas RPS有(yǒu)效地輸送反應性氣體,通過多種腔室材料選項有效減少PFC氣體
寬操作窗口,使(shǐ)用AE的專利LitmasMatch™固態電源傳輸拓撲結構,實現最大(dà)的(de)工藝開發靈活性(xìng)
高破壞率效率(lǜ)(DRE)和高等離子體密度,可與廣泛的工藝化(huà)學兼容
低公用(yòng)設施使用率和延長的使(shǐ)用壽命降低了總體擁有(yǒu)成本(běn)

規格

技術文檔

logo

地址:北京市(shì)海澱區上地信息路1號2號樓1503

電話(huà):400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

郵箱(xiāng):info@huisentaoci.com

網址:www.huisentaoci.com

版權所有© 北京91视频网科技有限公司 京ICP備08008520號-2 技術支持:中企雲達

91视频网_91黄色_91网站www._91最新网址