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射頻等離子體發生器

射頻等離子體發生器

從各種安裝(zhuāng)方式和尺(chǐ)寸到全數(shù)字控製和動態等離子響應,我們的射頻發(fā)生器(qì)是工藝創新的源動力。您可以從多種型號中靈(líng)活選(xuǎn)擇(zé),並使用獨特的配(pèi)置和控製(zhì)功能來滿(mǎn)足特定的應用要求。

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新興等離子體應用的多(duō)級脈衝和(hé)脈(mò)衝波形(xíng)控製

Paramount Plus射頻發生器

獲(huò)得脈衝(chōng)射頻產品中最廣泛的功能集。派拉蒙Plus提供精確(què)的射頻調節、複雜的脈衝操作和先(xiān)進的數據采集。Paramount Plus的設計覆蓋了廣泛的射頻(pín)能量範圍——頻率為1至60 MHz,功(gōng)率水平為1.5至15 kW——提供了您所需的可重複性和可(kě)靠性。

特(tè)點

通過嚴格(gé)調節的功率輸出增強射頻穩定(dìng)性
高級多級脈衝
脈衝同步和(hé)監測
實時功率和阻抗測量
先進的FastDAQ數據采集係統
精確控製射頻
增強等離子體穩定性
加速等(děng)離子體轉變
減少處理時(shí)間
提高工藝重複性和腔室匹配性

規格

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地址:北京市海澱(diàn)區(qū)上地信息路(lù)1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

郵箱:info@huisentaoci.com

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