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光纖(xiān)傳感器

光(guāng)纖傳感器

Advanced Energy為(wéi)溫度測量和傳感應用提供高度可靠和精確的(de)光纖傳感器。Luxtron®專(zhuān)利的FluorOptic®技術允許(xǔ)在傳統傳感器會(huì)失效的惡劣環境中進行精確的溫度傳感,例如在半導體製(zhì)造、電力電子和航空航天工業中。這些(xiē)光纖傳感器具有多種選擇以滿足不同的應用需求(qiú),為監控溫度和確保工藝效率和產品質量(liàng)提(tí)供了理想的解(jiě)決方案。此外,Advanced Energy的WaveCapture TM光纖(xiān)布拉(lā)格光柵(FBG)傳感解決方案提供了一種可靠且(qiě)經濟高效的方(fāng)式(shì)來監控結構和材料(liào)中的應變和溫度。憑借高精度測量應變的能力,這些FBG傳感器被用於包括航空航(háng)天、土木工程以及石油和天然氣行業在(zài)內的各種(zhǒng)應用。

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光纖傳感器

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用於半導體蝕刻和沉積應用的光(guāng)纖溫度傳感

Luxtron M-1100光纖溫度轉換器(qì)

Advanced Energy的Luxtron®M-1100是最(zuì)新的FluorOptic®測(cè)溫(FOT)轉換器平台,具有先(xiān)進的光(guāng)源和改進的超低噪聲(shēng)電子設(shè)備。VioLuxTM和RubiLuxTM兩(liǎng)種新的專有(yǒu)熒光粉配方已被開發出來,可在-200至(zhì)450°C的範圍內提供0.5°C的精度、重複性和穩定性。

 

特點

支持的溫度範圍(wéi)廣
低噪音,響應(yīng)速(sù)度快
單(dān)個轉(zhuǎn)換器中有5個通道
靈活的通信輸出
EtherCAT接口(kǒu)(可(kě)選)
模擬輸出
非接觸式測量,最大限度地減少熱偏移
易於安裝到OEM設備中
實現不同蝕刻和晶(jīng)圓製造工(gōng)藝的(de)高精度和極端溫度控製
利用AE經(jīng)驗(yàn)豐富的應用工程支持為OEM開發定製探頭

規格(gé)

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